填空题 为减少霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件或采用恒温措施外，还可以采用霍尔元件（）供电。

填空题 压电陶瓷所以具有压电效应，是由于内部存在（）。

填空题 某电容位移传感器，当被测位移变化量X=50，相应输出电容变化量C=20pF，其平均灵敏度为（）。