填空题 电涡流式传感器的测量系统由（）和（）两部分组成，利用两者之间的磁性耦合来完成测量任务。

填空题 电感式压力传感器类型较多，其特点是频响低，适用于（）或变化缓慢压力的测试。

填空题 为了提高自感位移传感器的精度和灵敏度，增大特性的线性度，实际用的传感器大部分都做成（）式。