多项选择题
直拉单晶炉的主室包括()。
A.热绝缘筒和地盘B.石墨加热器C.石墨坩埚D.石英坩埚
多项选择题 由于跟FZ技术相比,CZ法具有()。
多项选择题 以下对吸附描述正确的是升温和降压有助于()。
多项选择题 无坩埚区域提纯()。