多项选择题

A.悬浮区熔法比直拉法出现晚
B.区熔法正发展成为单晶硅生产的一种重要方法
C.区熔法又叫悬浮区熔法、FZ法
D.区熔法工艺复杂,在硅单晶的生产中不常用