填空题 电容传感器，变极距型多用于检测（），变面积型主要用于检测（），变介质型可用于检测（）。在工作频率（）时，电容传感器连接电缆的长度不能任意变化；常采用（）技术，克服分布电容的影响，提高传感器的稳定性。

填空题 电容传感器可分为（）、（）和（）三种基本结构形式。为了减小非线性误差，传感器通常做成（）结构。

填空题 金属应变片工作原理是利用（）效应；半导体应变片工作原理是利用（）效应。二者灵敏系数主要区别是：金属应变片的电阻变化主要由（）引起的，半导体应变片的电阻变化主要由（）引起的。