问答题
什么是冷壁CVD？什么是热壁CVD？特点是什么？
冷壁CVD：器壁和原料区都不加热，仅基片被加热，沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差，温度均匀性问题需特......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
问答题 简述CVD热力学分析的主要目的。
问答题 简述离子镀膜技术的分类。
