填空题
常用作硅单晶的N型掺杂剂的是()族元素,主要有()。
五;磷、砷、锑
填空题 拉制一定型号和一定电阻率的单晶,选择适当的()是很重要的。
填空题 用作拉硅单晶原料时,P型多晶硅含硼量小于()个原子/cm3,P型电阻率大于()。
填空题 用作拉硅单晶原料时,N型多晶硅含磷量小于()个原子/cm3,N型电阻率大于()。