填空题 滚珠丝杠副中滚珠的循环方式有（）和（）两种。

填空题 电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。

填空题 传感器的灵敏度反映了被测量的数值处在稳定状态时，（）的变化量与（）的变化量的比值。