多项选择题
减薄工序造成磨纹不良的因素有哪些（）。
A.主轴局部锈使磨轮进刀不匀速 B.吸盘上有杂质膜丝等外来物 C.更换研磨轮后修整研磨轮不彻底减薄后晶圆背面纹路异常 D.吸盘旋转异常或转速不均匀
多项选择题 减薄工序造成厚度不符的因素有哪些（）。
多项选择题 减薄工序造成裂片的因素有哪些（）。
多项选择题 减薄工序造成混批的因素有哪些（）。
