多项选择题
真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）
A.薄膜真空规B.皮拉尼真空规C.热偶真空规D.电离真空规
多项选择题 与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。
多项选择题 PECVD中，等离子体的激励方式有（）。
多项选择题 不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。
