判断题
VPE过程其实就是一种CVD的过程。
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判断题 CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。
多项选择题 下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）
多项选择题 关于热氧化速率，说法正确的是（）
