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直拉单晶硅工艺学

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填空题

熔体中含有平衡分凝系数()1的溶质晶体生长时,多余的溶质在界面处汇集形成杂质,在边界层内,愈接近界面溶质浓度愈()。

【参考答案】

小于;高

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填空题 当熔体中是正温度梯度,界面稳定,这是对()而言,而这是理想状态实际上是不存在的。如果考虑溶质浓度梯度影响,熔体的()即使为正值,光滑界面也不一定稳定。

填空题 只有晶体以一定速度生长放出的()平衡或小于晶体散热,生长界面才稳定。

填空题 用晶体的()也可以判别生长界面是否稳定。

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