填空题 FZ工艺生产中的掺杂工艺，目前常规的有（）、（）、（）三种方式。

填空题 采用直拉法制备单晶，晶体的生长方向是由（）决定的，掺杂的目的是为了控制（）。

填空题 “母合金”就是（）与硅的合金，常用的母合金有（）和（）两种。