多项选择题
沾污：晶圆表面不清洁有沾污，如（）等赃物。
A.斑点 B.白雾 C.硅屑 D.杂质
多项选择题 划片所用胶膜有哪些（）。
多项选择题 传递者在产品传递过程中不得（）单手提摔料盒、晶圆等。
多项选择题 DFG8540可以加工的晶圆尺寸有（）。
