单项选择题
使用化学机械抛光进行粗抛时抛光区域温度一般控制在（）
A.38-50℃B.20-50℃C.20-30℃D.20-38℃
单项选择题 （）不是用来测量结深的。
单项选择题 关于两步扩散法，第一步主要控制（）
单项选择题 扩散运动本质是（）
