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直拉单晶硅工艺学

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填空题

一般来说完整突变光滑界面的生长速度取决于两个因素,一个是二维晶核的(),另一个是二维晶核的()。

【参考答案】

台阶横向扩展速度;成核速率

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填空题 固相和液相两相间存在着一中间区域,晶体和流体两相间是渐变,界面参差不齐,我们称这种类型的界面为()。

填空题 如果生长界面在原子或分子层次上是凸凹不平,但晶体和流体两相间仍有突变,我们称这种类型的界面为()。

填空题 从原子或分子的层次上来看,在界面上除了有位错露头点外,再没有凸凹不平的现象,我们称这种类型的界面为(),晶体在该面上仍呈层状生长。

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