单项选择题
脱水烘烤是在（）的氛围中进行烘烤。
A.真空B.干燥氮气C.真空或干燥氮气D.清洁的空气
单项选择题 （）不是光刻的曝光方式。
单项选择题 投影式曝光的优势是（）
单项选择题 深紫外光刻采用（）谱线。
