多项选择题
化学法提纯高纯多晶硅的工艺包括（）
A.中间化合物的分离提纯 B.中间化合物的合成 C.中间产物被还原或者是分解成高纯硅还原成高纯硅 D.区域提纯
多项选择题 硅烷法的特点是（）
多项选择题 关于SiO说法正确的是（）
单项选择题 关于完全互溶的A、B双组分的溶液与其混合蒸汽所组成的相图，说法正确的是（）
