问答题
简述离子注入机的各部分工作原理？
离子注入机主要由离子源、分析磁体、加速聚焦器、扫描偏转系统、靶室及终端台和真空系统6大部分组成。1）离子源的......
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问答题 简述离子注入掺杂工艺与扩散掺杂工艺的比较
问答题 简述离子注入原理
问答题 简述热扩散所需经历的步骤
