多项选择题
直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多，下列选项中对这些工艺的工艺特点描述正确的是（）
A.高真空工艺单晶炉膛保持10-3乇或更高的真空度B.低真空工艺单晶炉膛内真空度保持10-1～10-2乇C.在拉制硅单晶时一次充入单晶炉膛内0.2～0.4kg压强高纯氩气（表压），称为不流动气氛D.拉制硅单晶时，连续不断地向单晶炉膛内充入高纯氩，保护炉膛内气体是正压（表压），同时又使部分氩气沿管道向外溢出，这种工艺称为流动气氛
多项选择题 高纯水的制取中用离子交换法，存在哪些缺点？（）
多项选择题 关于高纯水的描述正确的是（）
多项选择题 高纯水的制取是将预处理过的树脂入离子交换柱内，出水口与进水口在交换柱工作时使用，其余各口再生处理时使用，为防止树脂流失可在下法兰盖处垫一层尼龙布，关于离子交换柱描述正确的是（）
