问答题
按测量原理真空计可分几种，各自的定义及特点？
1.热偶真空计：大量用于真空度较低、精度要求不高的场合；结构简单、使用方便；对不同气体测量结果不同，需要校正......
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问答题 简述旋片机械泵、油扩散泵、分子泵的工作原理及性能特点？
问答题 试述真空各区域的气体分子运动规律。
问答题 简述真空的概念？怎样表示真空程度，为什么说真空是薄膜制备的基础？
