问答题
简述CVD技术的热动力学原理——热力学
化学气相沉积是把含有构成薄膜元素的气态反应剂的蒸汽及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应，并把固体产物沉积......
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问答题 简述CVD技术的反应原理
名词解释 化学气相沉积
名词解释 高压釜
