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直拉单晶硅工艺学

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填空题

一般说来,掺杂量大的单晶比掺杂量较少的单晶需要的温度梯度()。

【参考答案】

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填空题 生长系统中的温度分布(等温面的状况)对单晶的()有决定性的影响,然而()的单晶,对热场的要求也不同。

填空题 生长高质量单晶,一个很重要的条件就是有一个合适的()。

填空题 热场温度梯度大小不但取决于()的影响,还决定于()。

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