单项选择题 以下工艺中，方块电阻是一个重要的参数，一般用于衡量（）工艺中杂质情况。

单项选择题 在制作MOS管时，采用LOCOS工艺容易出现（）。

单项选择题 光刻时，将掩模版直接放在晶圆表面，与表面的光刻胶接触，该种光刻方式称为（）。