单项选择题
关于外延层的质量要求以下说法正确的是（）
A.对厚度没有要求B.对掺杂的浓度没有要求C.杂质分布满足要求D.外延层中位错、层错、麻坑、雾状、缺陷、伤痕等都无所谓
单项选择题 汽相外延的简称是（）
单项选择题 CMP湿实现（）的一种技术。
单项选择题 化学机械抛光中，抛光液的作用是（）
