单项选择题 清洗机清洗晶圆后，用离子风枪风淋晶圆正反面，整个过程风淋时间不少于（）钟。

单项选择题 正常情况下，全自动划片机加工厚度为480um的晶圆时，Z1轴使用的刀片型号是（）。

单项选择题 去离子水电阻率（未加CO2）（），去离子水电阻率（加CO2）是（）。