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直拉单晶硅工艺学

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填空题

油封旋片式真空泵是一种(),使系统能够达到的极限真空度一般为2×10-3乇(mmHg)。

【参考答案】

低真空泵

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填空题 油封式旋片真空泵转子连续转动时,两个叶片周期地()和(),就能对系统连续进行抽气。

填空题 油封式旋片真空泵的转子转动时,二平板在弹簧和空腔的作用下,沿切线来回周期性的滑动,时而靠拢,时而分开,排气口处由于活门的作用,使气体排出而不至返回空腔,用()避免了活门与大气接触。

填空题 真空泵的空腔内有旋转活塞(转子),转子是一圆柱和镶嵌在圆柱切口中的两个平板A和B组成,平板之间装有弹簧,平板紧贴真空泵圆柱形的空腔壁,形成抽气空间,转子的转轴在空腔几何轴线上垂直偏高的位置,空腔内装有机械泵油。这种结构的真空泵叫做()。

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