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直拉单晶硅工艺学

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填空题

()检测存在着多版本检测标准,各标准之间差距较大,以致于国际上专门出了一个标准来说明这些标准之间的转换关系。

【参考答案】

氧含量

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填空题 红外吸收光谱法检测氧碳含量,多数仪器的检测下限是()。

填空题 在检测规范中规定,氧样片的取片位置在(),碳样片的取片位置在()。

填空题 对于氧含量,从一支单晶的纵向变化规律来说,()最高,()次高。最低点出现在()。

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