填空题
电子束曝光主要分为（）和（）两类。
扫描电子束曝光（电子束线曝光）；投影电子束曝光（电子束面曝光）
填空题 在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
填空题 电解加工过程中常用的直流电源为（）和（）。
填空题 电解加工过程中电解液可分为（）、（）和（）三大类。
