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直拉单晶硅工艺学

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填空题

生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅处理比较复杂,首先将多晶破碎,然后用砂轮将多晶硅中的钼丝和硅钼合金打磨干净,最后经清洁处理后方能用来拉制硅单晶。

【参考答案】

钼丝

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填空题 生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅,必须首先用()把钽管和钽硅合金腐蚀干净,再破碎或截段后进行清洁处理,方可作为拉制单晶硅的原料。

填空题 生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅,破碎或者截成段后,经过清洁处理就可以作为拉制硅单晶的原料。

填空题 单晶同多晶相比,不单是()排列有规律,同时,各种()也大大改善,增加了许多新性质,扩大了用途,大大提高了身价。

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