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直拉单晶硅工艺学

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填空题

单晶尾面脱离熔硅后,由于()作用往往产生位错,沿滑移面向单晶内部延伸。

【参考答案】

热应力

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填空题 硅单晶是典型的()结构,并且是()结合,()是硅单晶的主要滑移面。

填空题 位错滑移只扩大滑移区,攀移需要()扩散,伴有质量输送。

填空题 三个或更多的位错相遇一点时(节点),各位错的柏格矢量的为零,称为()。

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