问答题
简述常见的初级泵和高级泵。
常见的两种初级泵：A.干性机械泵B.增压/调压泵：可处理大量气体而不需要润滑剂，增压器通常被称为......
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问答题 工艺用气体通常分为哪两类？
问答题 简述硅片清洗目标
问答题 晶体缺陷根据维数可分为哪四种？
