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直拉单晶硅工艺学

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填空题

在半导体材料中,()的改变会引起半导体材料的电阻率发生显著变化。

【参考答案】

杂质含量

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填空题 工业上常用几个“9”来表示物质的纯度。以硅为例,若硅的纯度为9个“9”,就是说硅中杂质含量为()个PPb。

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