单项选择题
设备主进气使用的什么气体。（）
A.N2 B.H2 C.CDA D.Ar2
单项选择题 注液设备有几个浸润工位（）。
单项选择题 注液设备共有几个一封工位（）。
单项选择题 注液设备有几个旋转Buffer。（）
