问答题 注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？

问答题 离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。

问答题 什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？