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直拉单晶硅工艺学

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填空题

粗糙突变界面模型的理论基础是在()条件下,界面层中()变成()时,使界面层自由能变化。

【参考答案】

恒温恒压;流体原子;晶相原子

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填空题 光滑面换型以()为前提,实际上没有这种界面的,生长界面总是比较粗糙,因此,提出()模型,此换型又称双层界面模型。

填空题 由于()形成的露头台阶永远存在性,这样的晶面永远不会成为完整的光滑面。

填空题 理论上,晶体进行完整光滑界面生长时,台阶就以有限的速率(),最终铺满整个(),台阶消失。

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