单项选择题
薄膜对应的英文是（）
A.siliconB.polyC.substrateD.film
单项选择题 Ti、Ta、Al、Cu、Pt对应的物质分别是（）
单项选择题 物理汽相淀积的英文缩写是（）
单项选择题 CVD的过程是（）
