多项选择题 传递料盒时必须（），作业过程中遵循（），先传递物料，再（）的顺序。

多项选择题 晶圆传递时，晶圆（）拿取晶圆，严禁手指触碰晶圆有芯片区域。

多项选择题 过程抽检时die抽取（）的芯片进行检验。