问答题
简述化学气相淀积的原理？
①气态反应剂被输送至反应腔，以平流形式向出口流动。②反应剂从主气流区以扩散方式通过边界层到达硅片表面。......
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问答题 简述化学气相淀积的概念？
问答题 二氧化硅的应用及相应的生长方法？
问答题 简述SiO2的用途?
