问答题
简述微系统的基本特征和关键技术。
特征：体积小，重量轻，耗能低，性能稳定，有利于大量生产，降低生产成本，惯性小，谐振频率高响应时间短，集约高技术成果，附加......
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问答题 超精密加工的发展趋势如何？有哪些主要的技术？
问答题 简述电子束加工技术的原理和应用。
问答题 简述激光加工技术的原理和应用。
