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单项选择题

在Gate Step中,得到Gate Pattern的顺序是()

    A.Cleaning->Gate Depo->Photo->WET Etch
    B.Cleaning->Gate Depo->Photo->DRY Etch
    C.Gate Depo->Cleaning->Photo->WET Etch
    D.Cleaning->Photo->Gate Depo->WET Etch

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