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多项选择题

PG3000RMX减薄机贴片台部分检查项目方法为()。

    A.观察Table面是否平整完好
    B.检查紧固松动部件和螺丝
    C.放置晶圆,打开真空,检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。
    D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。

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