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填空题

湿法腐蚀Si所用溶液有()、()等,腐蚀SiO2常用的腐蚀剂是(),腐蚀Si3N4常用的腐蚀剂是()。

    【参考答案】

    硝酸-氢氟酸-醋酸(或水)混合液;KOH溶液;HF溶液;磷酸

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