下列关于固体浸没式椭偏仪的说法错误的是（）。

A.固体浸没式椭偏仪可以用来精确测量薄膜的厚度和折射率
B.固体浸没隧穿椭圆偏振仪不仅适合超薄薄膜，也适合厚膜
C.固体浸没式椭偏仪，可以在极小的面积上进行精确的椭偏测量，通过扫描样品可以获得薄膜厚度和折射率变化的高质量图像
D.由于存在大于或小于临界角的角度，该仪器能够测量亚纳米到几微米的薄膜图案，横向分辨率可达100纳米