等离子体技术制备纳米颗粒的基本原理是在等离子体发生装置中引入干燥气体，使干燥气体电离，并在反应室中形成稳定的（）。利用其活性原子、分子、离子或电子以高速射到各种金属或化合物原料表面，使原料瞬间加热、熔融并蒸发，蒸发的气相原料与等离子体或反应性气体发生气相化学反应、成核、凝聚、生长，并迅速脱离反应区域，经过短暂的快速冷凝过程后，得到相应物质的纳米颗粒。