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全部科目 > 操作工技能考核考试 > 真空镀膜操作员

问答题

简答题

沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？

    【参考答案】

    （1）薄膜和基材之间的晶格失配
    （2）薄膜和基材之间的热膨胀系数差异
    （3）晶界之间的互挤

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