填空题
终点检测是指（）的一种检测到平坦化工艺把材料磨到一个正确厚度的能力。两种最常用的原位终点检测技术是（）和（）。
【参考答案】
CMP设备；电机电流终点检测；光学终点检测
点击查看答案
填空题
CMP设备；电机电流终点检测；光学终点检测
微信扫一扫,加关注免费搜题