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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 电子与通信技术 > 集成电路技术 > 集成电路工艺原理

填空题

集成电路制作工艺大体上可以分成三类，包括（）、（）、（）。

    【参考答案】

    图形转化技术；薄膜制备技术；掺杂技术

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