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问答题

简答题

简述掺杂工艺流程

    【参考答案】

    1） 衬底清洗
    2） 生长掩蔽膜
    3） 对掩蔽膜进行光刻和刻蚀
    4） 进行选择性掺杂
    5） 检测、评估

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