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多项选择题

关于超精密加工说法正确的是()。

    A.指加工精度高于0.01um
    B.超精密加工是微米工艺
    C.表面粗糙度在Ra0.03-0.005um
    D.加工精度达到极高程度的精密加工工艺
    E.表面质量达到极高程度的精密加工工艺

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